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激光測量平面度的方法

 

                                                         激光測量平面度的方法

平面度,是屬于形位公差中的一種,指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。在傳統(tǒng)的檢測方法中,平面度的測量通常有:塞規(guī)/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法(平晶干涉法)、水平儀/數(shù)字水平儀測量法、以及打表測量法。

  塞尺測量法,只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由于其精度不高,常規(guī)塞尺為10um,檢測效率較低,結(jié)果不夠全面,只能檢測零件邊緣。

  液平面法,基于連通器工作原理,適合測量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度,但測量時間長,且對溫度敏感,僅適用于測量精度較低的平面。

  激光平面干涉儀測量法,典型的用法是平晶干涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量,如千分頭測量面,量規(guī)的工作面,光學(xué)透鏡。

  水平儀測量法,廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復(fù)挪動儀器位置,記錄各測點的數(shù)據(jù),費時、費力,調(diào)整時間長,數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。

  打表測量法,典型應(yīng)用為平板測微儀及三坐標(biāo)儀,其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動,按選定的布點測取各測量點相對于測量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù),再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理評定出平面度誤差。但其效率較低,通常一個樣品需要幾分鐘,離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn)。

     我們可以提供激光測量平面度的方法,利用德國lamtech激光平面度測量儀,可以快速測量平面度,如航空航天,汽車工業(yè)噴油嘴行業(yè),泵、閥門密封件表面,以及光學(xué)工程,激光工程等領(lǐng)域都有應(yīng)用。

    該激光測量平面度的方法測量效率高,精度高,檢測一個只要1-3秒,可以實現(xiàn)100%全檢。

 

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